真空擴(kuò)散焊爐的真空系統(tǒng)由一臺(tái)直連泵、擴(kuò)散泵、一臺(tái)氣動(dòng)高真空閥、充保護(hù)氣氛閥(Ar、N2)、放氣閥、真空壓力表(±Pa)等組成，真空管道與泵的聯(lián)接采用金屬波紋軟管快速接頭聯(lián)接(減緩震動(dòng))，真空度的測(cè)量由數(shù)顯復(fù)合真空計(jì)執(zhí)行。

　　真空擴(kuò)散焊爐的技術(shù)特色說明：

　　1.加熱元件模塊化，多面加熱，多區(qū)控溫，PID多段程序控溫，溫度均勻性好。除配裝壓力傳感器外，還裝配進(jìn)口的重量傳感器，重量傳感器的測(cè)量數(shù)值直接顯示重量值，結(jié)合擴(kuò)散焊面積，亦可換算成MPa數(shù)字，測(cè)量精度高于液壓油壓力測(cè)量值，壓力控制精度高;配裝高精度位移光柵尺，位移控制精度準(zhǔn)確;獨(dú)立的伺服補(bǔ)壓控制系統(tǒng)，確保24小時(shí)恒壓值不變，恒定壓力準(zhǔn)確。

　　2.專業(yè)動(dòng)密封結(jié)構(gòu)，確保其在真空高壓下多年穩(wěn)定運(yùn)行，無泄漏。壓力場(chǎng)經(jīng)3D有限元壓力模擬校核，上/下壓頭安全余量足，高溫下無微量變形，受壓工件基面平整。上下壓頭選用合金材料，兩平面通過磨床平磨后，還經(jīng)過手工刮研，精研處理。

　　3.上壓頭具備自適應(yīng)調(diào)整功能，該自適應(yīng)整機(jī)構(gòu)經(jīng)數(shù)控機(jī)床加工而成，確保上壓頭沿X軸Y軸方向360°自由旋轉(zhuǎn)，Z軸旋轉(zhuǎn)度要特定限制，嚴(yán)格限制在以壓頭端面對(duì)角線一定范圍內(nèi)的設(shè)計(jì)調(diào)節(jié)范圍。